在半导体制程工业中，芯片生产要经历几百道工序，就会用到大量特殊气体。大多数特殊气体易燃、易爆、剧毒、腐蚀性气体，为了安全输送和使用这些危险气体，半导体厂将安装电子特殊气体系统，配备电子特殊气体柜GC、气体分配箱VMB、特殊气体泄漏监测报警器等特殊设备。

因特种气体的特殊性，承载特种气体的气瓶柜体须为防爆柜体，同时为保证半导体制程工艺中特种气体的稳定供气和安全，应具备多种功能，如柜内气体泄漏侦测报警、PLC面板控制、全自动吹扫等，提高使用安全系数，有效的保护生产安全和人员的生命安全。其次，半导体行业配置电子特气柜需要拥有SEMI S2认证。

S2的对象是半导体工艺设备，是环境、健康、安全标准，即EHS标准，因为半导体行业涉及许多特殊气体、化学品和电气、游离和非游离辐射，如果处理不当，下游用户使用容易导致事故甚至灾难，因此设备制造商设备产品如电子气柜，SEMIS2认证极其重要。

从上述描述可以看出，在半导体制造过程中，需要安全和稳定使用特殊气体，普通气瓶柜在材料和功能上都不能满足要求，因此半导体行业应配备具有SEMIS2认证的电子特殊气体柜。